韵申科技：硅碳负极CVD反应装置供应商
韵申科技成立于2012年，公司总部及研发中心位于上海，技术和研发实力雄厚，是国家“高新技术企业”、上海市科技型“小巨人”企业、上海市“专精特新”企业。
公司专业服务于中国高速发展的新能源材料、半导体材料、半导体工程等新兴高科技产业，致力于为其提供“高温度、高洁净、高集成”的硅基关键产品，为泛半导体（新能源（光伏、锂电池）、平板显示、光纤、集成电路）行业提供关键高纯原材料解决方案。产品涵盖硅基CVD核心反应器、高温晶体炉及高纯硅基特气&硅基前驱体材料系统集成一站式工程解决方案，是一家集研发、设计、制造为一体的综合性科技公司。
公司在江苏镇江设立制造基地，占地100亩，拥有万级、千级和百级洁净室共1000㎡，十万级洁净区10000㎡。制造基地配备18MΩ电阻值超纯水间，拥有氧分析仪、水分析仪、颗粒检测仪、氦检仪等检测设备，满足客户极低泄漏及水氧测试要求。致力于为高纯硅原料、晶圆厂、LED光纤、电子材料及精细化工等领域提供核心设备及超高纯流体系统工程解决方案，系统解决方案涵盖设计、选型、制造、安装和测试等服务。
硅碳负极CVD反应装置示意图
该业务服务范围：CVD反应器装置
CVD设备设计/CVD设备制造/CVD系统设计/CVD系统制造
规划设计：产能规模、工艺路线、园区属性、地域选址
原料装置：硅烷路线、碳源路线、氮气路线、多孔碳路线
尾气处理：实验尾气、中试尾气、量产尾气、回收尾气
安装调试：气站EPC、现场CVD系统、电仪自控系统
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