2015年2月26日热点新闻: 摘要:在所有的太阳能电池技术中,硅基异质结(HJT)太阳能电池最引人注目,因为其具有高的转换效率、简单的工艺流程和低的温度系数。在HJT太阳能电池的制造过程中,等离子增强化学气相沉积设备(PECVD)沉积多层非晶硅层以钝化硅片的表面,这在元器件的性能表现方面起到至关重要的作用。使用精曜科技的PECVD设备在160um厚的绒面常规n型CZ硅片表面沉积5nm厚的非晶硅钝化层,我们得到了非常低的表面复合速率和740mV的潜在开路电压(iVoc)值。另外,通过RPD设备沉积透明导电氧化层,可以同时得到优越的光学特性和电学特性,提升了器件的电流密度(Jsc)和填充因子(FF),这主要归功于其具有较高的载子迁移率和较低的自由载子浓度(FCC)。结合PECVD技术良好的表面钝化效果和RPD制备TCO的优异表现,我们初步在六英寸电池片上得到了大于21%的转换效率。 ... [详细] |
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